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SF6抽真空充气装置的装置原理

文章来源: 发布时间:2022-01-06 13:19:37 浏览量:861 次

  SF6抽真空充气装置的装置原理。

  SF6抽真空充气装置的装置原理图见图1:

  图1 SF6抽真空及回充装置原理图
  SF6抽真空充气装置装置基本配置:

  SF6抽真空充气装置编号名称型号数量

  1真空泵*额定速率54m3/h,最终真空度<0.06pa1

  2管道长度3m/5m各1

  3球阀、电磁阀DDC真空电磁阀1

  4真空表数字真空计1
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